半導体・太陽電池・その他スラリーリサイクルシステム
外周・平面切削水回収システム
太陽電池・半導体の製造工程プロセス中の外周・平面切削工程で発生する外周・平面切削廃水をリサイクル。
無薬注でろ過し、90%を再利用可能とした完全密閉式の全自動運転システムです。
廃水処理設備の負荷低減はもとより、副産物として、シリコン粉の抽出も可能となりました。
図1.IHIフンダバックフィルター(外観)
外周・平面切削水回収システムの特徴
ベッセルの中に配置された多くのキャンドルに取り付けられたろ布が、ダイレクトにスラリーをろ過。ろ過後はケーキの乾燥・排出、ろ布の洗浄まで全自動運転が可能です。
耐食性に優れている為、腐食の多い環境下でも実力を発揮します。
ベッセルは完全密閉されている為、特殊な液を扱う場合でも、安全に作業ができます。
廃水処理条件に合わせて、膜を選定し、小型から大型の設備まで設計致します。
太陽電池や半導体シリコンインゴットの外周・平面切削工程以外でも、レアメタルなど有価物の回収テスト等ございましたら、ご相談下さい。
図2.ベッセル内部(外観)
図3.シリコン抽出のイメージ
図4.回収サンプル