次世代大型ガラス搬送制御ラスベガス ブラックジャック ミニマムの開発
- 長谷川文夫、岡島一道、志田倫教、村松佑哉、中磨満彰
液晶パネル製造ラインでは、生産フラスベガス ブラックジャック ミニマムが複雑で、かつ生産量も多い。効率良く生産するためには、プロセス装置や自動倉庫間の搬送を制御する搬送制御システム(MCS)が不可欠である。また、ガラス基板の大型化が進むなか、従来のカセット搬送方式では搬送が限界に近づいており、1枚ごと搬送する枚葉搬送方式が必要となりつつある。そこで、液晶パネル製造ラインのTFT工程を対象として、カセット搬送および枚葉搬送の制御機能をもつ MCSを開発した。本稿では、システムの概要と主な特長について紹介する。